掃描電鏡如今被廣泛的使用于各類(lèi)材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能測(cè)試等領(lǐng)域的研究。儀器主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。其中重要的三個(gè)系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。

SEM掃描電鏡的日常維護(hù)：

1、保持掃描電鏡操作臺(tái)面整潔，不允許身體倚靠，凍水機(jī)等裝置不可放置重物；

2、開(kāi)機(jī)時(shí)一定要先開(kāi)水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機(jī)至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水；

3、進(jìn)樣品時(shí),檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進(jìn)樣倉(cāng)門(mén)徹底關(guān)閉,才可點(diǎn)擊EVAC按鈕抽氣；

4、移動(dòng)樣品，通過(guò)配合移動(dòng)StageDriver將載物臺(tái)向X軸和Y軸方向移動(dòng)，從而移動(dòng)樣品，并保證小于大允許值；

5、傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺(tái)和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的大安全角度要小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴；

6、用BSE探頭時(shí)不可傾斜樣品臺(tái)；

7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時(shí)要關(guān)閉高壓；

8、放氣時(shí)HT要處于關(guān)閉狀態(tài)，一定要等待120秒后才可輕輕拉開(kāi)樣品交換倉(cāng)的門(mén)；

9、更換鎢燈絲時(shí)，等待兩分鐘時(shí)間，然后打開(kāi)電子槍?zhuān)脤?zhuān)門(mén)的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷；

10、SEM掃描電鏡需要手動(dòng)調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整；

11、每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過(guò)四天。