掃描電鏡是用來測樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。

SEM掃描電子顯微鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm；放大倍數(shù)可以達到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào)；并且景深大、視野大、 成像立體效果好。

此外，SEM掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合，可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此SEM掃描電子顯微鏡在科學研究領(lǐng)域具有重大作用。