前 言

　　在長(zhǎng)期的分析測(cè)試工作中，發(fā)現(xiàn)好多使用掃描電鏡圖像的學(xué)生對(duì)掃描電鏡標(biāo)尺的理解不是很透徹，今天就針對(duì)掃描電鏡標(biāo)尺在這里拋磚引玉，以供各位理解，歡迎各位斧正。

　　一、掃描電鏡SEM原理：

　　利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集(能譜EDS)，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。

　　二、掃描電鏡SEM圖像中相關(guān)文字標(biāo)注信息釋義：

　　一般來(lái)說(shuō)，論文中只需要體現(xiàn)這3方面主要信息：加速電壓、放大倍數(shù)以及電鏡型號(hào)，其他的信息都可以忽略，作為一個(gè)了解即可。

　　三、不同廠商掃描電鏡設(shè)備拍照?qǐng)D像標(biāo)尺舉例：

　　首先我們來(lái)看下不同廠商的掃描形貌圖片：

　　1. 美國(guó)FEI廠商的掃描電鏡圖標(biāo)尺舉例：

　　這4張圖片的標(biāo)尺都定義為微米級(jí)別，而實(shí)際放大倍數(shù)有5萬(wàn)倍，500倍，2萬(wàn)倍

　　2. 日本電子掃描電鏡圖標(biāo)尺舉例：
 

　　通過(guò)日本廠商的不同型號(hào)設(shè)備我們可以看出既有微米級(jí)放大5 萬(wàn)倍的標(biāo)尺，也有納米級(jí)放大8 萬(wàn)倍的的標(biāo)尺。

　　3. 德國(guó)蔡司掃描電鏡圖標(biāo)尺舉例：

　　以上德國(guó)廠商的不同型號(hào)設(shè)備我們可以看出既有微米級(jí)放大5萬(wàn)倍的標(biāo)尺，也有納米級(jí)放大8萬(wàn)倍的的標(biāo)尺。

　　4. 捷克TESCAN掃描電鏡圖標(biāo)尺舉例：

　　上圖中捷克TESCAN掃描電鏡圖像標(biāo)尺既有1萬(wàn)倍的微米級(jí)，也有10萬(wàn)倍的納米級(jí)

　　通過(guò)以上的不同國(guó)家不同廠商的掃描電鏡圖片標(biāo)尺我們橫向分析可以看出，不同的廠商在設(shè)備的標(biāo)尺上數(shù)值設(shè)置不同，美國(guó)設(shè)備一般傾向于微米級(jí)別的標(biāo)尺;而日本和捷克則是微米納米二者兼有，納米也是比較大的數(shù)值;而德國(guó)蔡司的設(shè)備更傾向于數(shù)值小的納米級(jí)別標(biāo)尺數(shù)值，但是絲毫沒(méi)有影響對(duì)樣品的放大倍數(shù)。

　　因此，可以得出一個(gè)結(jié)論，標(biāo)尺數(shù)值大小跟放大倍數(shù)沒(méi)有必然關(guān)系，具體數(shù)值大小和不同的廠商設(shè)置有關(guān)。

　　在實(shí)際使用標(biāo)尺度量中，大標(biāo)尺在形貌的度量過(guò)程中可能存在不方便使用的問(wèn)題，因此，我們可以通過(guò)嘗試使用PS工具來(lái)對(duì)標(biāo)尺做一個(gè)簡(jiǎn)單的縮小處理,如下：

　　通過(guò)等比例的縮小標(biāo)尺我們很快就能搞定度量工作。

　　以上就是對(duì)掃描電鏡中的標(biāo)尺解讀，希望能幫到大家更深入的理解掃描電鏡中的標(biāo)尺問(wèn)題，同時(shí)也希望對(duì)標(biāo)尺的深入理解幫助大家用好掃描電鏡，不要丟棄放大倍率的真實(shí)概念，而去追求所謂的標(biāo)尺決定放大倍率錯(cuò)誤觀念。祝大家用好掃描電鏡，多多發(fā)表SCI。