全自動掃描電子顯微鏡采用強大的ARM 32位嵌入式微處理器平臺，內(nèi)置的RISC指令系統(tǒng)，為嚴(yán)謹(jǐn)復(fù)雜的計算運行提供保障，寬大的彩色觸摸顯示屏、創(chuàng)新的WlNDOWS界面軟件，存儲量可多達1000組數(shù)據(jù)信息，可通過u盤、SD卡等移動設(shè)備將數(shù)據(jù)導(dǎo)出或通過USB、RS232接口直接連接PC。

全自動掃描電子顯微鏡保證整個測試過程能夠在一個可控的恒定溫度下進行，確保了測試結(jié)果的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性，標(biāo)配高分辨率CCD傳感器，通過信號采集和分析處理技術(shù)，能夠準(zhǔn)確地完成各種樣品的分析實驗，高亮度LED光源，光色純正，使用壽命超過100000小時。位于試樣槽內(nèi)的藍寶石級棱鏡，是普通棱鏡耐磨損程度的30倍，巧妙的清洗設(shè)計，避免了常規(guī)清洗所帶來的繁瑣及棱鏡劃傷。

全自動掃描電子顯微鏡是一款全自動、無損顯微分析系統(tǒng)，可針對幾乎所有無機材料和部分有機材料，迅速提供在統(tǒng)計學(xué)上可靠且可重復(fù)的礦物學(xué)、巖相學(xué)和冶金學(xué)數(shù)據(jù)，在采礦業(yè)，全自動掃描電子顯微鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和天然氣行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進行顯微分析，從而降低風(fēng)險并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因為從試樣中所得到各種信息的強度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進行晶體學(xué)分析或成分分析。

在全自動掃描電子顯微鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。