近期，俄烏沖突問題導(dǎo)致油價(jià)連漲，以光伏發(fā)電為代表的新能源汽車產(chǎn)業(yè)廣受關(guān)注。太陽能光伏電池技術(shù)作為光伏發(fā)電的核心部件，其發(fā)展前景及市場價(jià)值也備受矚目。在全球各類電池管理產(chǎn)品以及銷售業(yè)務(wù)收入中，光伏電池占到了27％左右。而在不斷提升光伏電池的生產(chǎn)加工工藝和相關(guān)理論研究中，掃描電鏡發(fā)揮著非常巨大推動(dòng)作用。

光伏電池是一種將太陽能直接轉(zhuǎn)化為電能的光電半導(dǎo)體芯片。目前，大規(guī)模生產(chǎn)的光伏電池主要是硅電池，分為單晶硅電池、多晶硅電池和非晶硅電池。

為了提高光伏電池的能量利用率，通常在電池表面制作一種特殊的絨面結(jié)構(gòu)，絨面電池被稱為“絨面”或“非反光”電池。

具體來說，這些太陽能電池表面的絨面結(jié)構(gòu)可以通過增加照射光在硅片表面的反射次數(shù)來提高光吸收率，不僅可以降低表面反射率，還可以在電池內(nèi)部形成光阱，從而顯著提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率，對于提高現(xiàn)有硅光伏電池的效率、降低成本具有重要意義。

相較于平坦表面，使用一個(gè)金字塔網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)絨面的硅片有更大概率問題會(huì)使入射光產(chǎn)生的反射光進(jìn)行再次作用到硅片表面，而不是通過直接影響反射回空氣中，從而大大增加了光在組織結(jié)構(gòu)材料表面的散射和反射次數(shù)，使更多光子被吸收、提供了更多發(fā)展電子空穴對。

目前我國已有的表面制絨方法有：化學(xué)物質(zhì)腐蝕法、反應(yīng)進(jìn)行離子刻蝕法、光刻法、機(jī)械刻槽法等，其中一個(gè)化學(xué)研究腐蝕法因成本低、生產(chǎn)率高且方法可以簡單，一直在發(fā)展產(chǎn)業(yè)上廣泛使用應(yīng)用，對于單晶硅光伏電池企業(yè)來說，通常我們利用一些堿性溶液在晶體硅不同晶向上學(xué)習(xí)產(chǎn)生的各向異性腐蝕，在硅片表面沒有形成一種類似于“金字塔”結(jié)構(gòu)的絨面。

在化學(xué)腐蝕過程中，腐蝕液濃度、溫度、反應(yīng)時(shí)間等因素會(huì)影響硅晶體電池天鵝絨表面的制備，導(dǎo)致反射率不同，利用鎢絲的sem掃描電鏡可以有效地觀察到腐蝕區(qū)的大小和表面的金字塔結(jié)構(gòu)。

為了利用超大型樣品箱優(yōu)點(diǎn)，用戶可以將ZUI大直徑達(dá)370mm的光伏電池樣品放置在使用過程中無需切割，掃描電鏡上的五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)-10°～75°的傾斜，實(shí)現(xiàn)樣品不同位置的多角度觀察。