1.光學(xué)顯微鏡以可見光為介質(zhì)，電子顯微鏡以電子束為介質(zhì)，由于電子束波長遠較可見光小，故電子顯微鏡分辨率遠比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率更高只有約1500倍，掃描電鏡可放大到10000倍以上。

2.根據(jù)De Broalie波動理論，電子的波長僅與加速電壓有關(guān);在10 KV的加速電壓之下，電子的波長僅為0.12A，遠低于可見光的4000-7000A，所以電子顯微鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡優(yōu)越許多，但是sem掃描電鏡的電子束直徑大多在50-100A之間，電子與原子核的彈性散射與非彈性散射的反應(yīng)體積又會比原有的電子束直徑增大，因此一般穿透式電子顯微鏡的分辨率比掃描電鏡高。

3.sem掃描電鏡有一重要特色是具有超大的景深，約為光學(xué)顯微鏡的300倍，使得掃描電鏡比光學(xué)顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。

4.sem掃描電鏡，其系統(tǒng)設(shè)計由上而下，由電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過一組磁透鏡聚焦聚焦后，用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡聚焦，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號接收器，用以擇取一次電子或者背向散射電子成像。

5.電子槍的必要特性是高度要高、電子能量散布要小，目前常用的種類有三種，鎢燈絲、六硼化鑭燈絲、場發(fā)射，不同的燈絲在電子源大小，電流量，電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。

6.熱游離方式電子槍有鎢燈絲及六硼化鑭燈絲兩種，它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子格材料的功函數(shù)能障而逃離，對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù)，但因操作電子槍時均希望能以更低的溫度來操作，以減少材料的揮發(fā)，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度。

7.價錢更便宜使用很普遍的是鎢燈絲，以熱游離式來發(fā)射電子，電子能量散布為2eV，鎢的功函數(shù)約為4.5eV，鎢燈絲系一直徑約100um，彎曲成V形的細線，操作溫度約2700K，電流密度為1.75A/cm2，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時。

8.六硼化鑭燈絲的功函數(shù)為2.4eV，較鎢絲為低，因此同樣的電流密度，使用laB6只要在1500K即可達到，而目亮度更高，因此使用壽命便比鎢絲高出許多，電子能量散布為1eV，比鎢絲要好，但因laB6在加熱時活性很強，所以心須在較好的直空環(huán)境下操作，因此儀器的購買費用較高。

9.場發(fā)射式電子槍則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度分別高出10-100倍 同時電子能量散布僅為0.2-0.3eV 所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場發(fā)射式電子槍，其分辨率可高達 1nm 以下。

10.場發(fā)射電子槍可細分成三種:冷場發(fā)射式，熱場發(fā)射式，及蕭基發(fā)射式。

11.當在真空中的金屬表面受到108V/cm大小的電子加速電場時，會有可觀數(shù)量的電子發(fā)射出來，此過程叫做場發(fā)射，其原理是高電場使電子的電位障礙產(chǎn)生Schottkv效應(yīng)，亦能使寬度變窄，高度變低，因此電子可直接"穿梭”通過此狹窄能障并離開陰極。場發(fā)射電子系從很尖銳的陰極的發(fā)射出來，因此可得很細而又且高由流密度的電子束，其亮度可達熱游離電子檢的數(shù)百倍，或甚至千倍。